فرآيند دفيوژن گازی برای غنی سازی اورانيوم استفاده می شود که در اين مورد اورانيوم به شکلUF6 مورد نياز است. در اولين مرحله توليد UF6 سنگ معدن اورانيوم استخراج می شود و به آسيابی که در آنجا اکسيد اورانيوم (کيک زرد) توليد می شود فرستاده می شود.اکسيد اورانيوم سپس به واحد توليد UF6 فرستاده می شود.در واحد توليد در يک سری از واکنش های شيميايی برای شکل دادن ترکيب شيميايی UF6 اکسيد اورانيوم با HF بی آب و گاز فلوئور ترکيب می شود.UF6 توليدی در استوانه های فولادی قرار داده می شود و در حالت جامد برای غنی سازی به کارخانه دفيوژن گازی فرستاده می شود.هگزا فلوئوريد اورانيوم در تهيه اورانيوم به کار برده می شود زيرا خواص منحصر به فردی دارد که آن را بسيار مناسب جلوه می دهد. هگزا فلوئوريد اورانيوم به سادگی می تواند به شکل گاز برای انجام فرآيند، به شکل مايع برای خالی و پر شدن در ظروف و ابزار و به شکل جامد برای نگهداری مورد استفاده قرار گيرد. همه اينها در دما و فشار معمولی مورد استفاده در فرآيندهای صنعتی به سادگی حاصل می شود.